干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵具有無油污染、維護簡單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點，因此在半導體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應用。

干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機械結(jié)構(gòu)的運動，將氣體從進氣口吸入并壓縮，*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。

通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝， 能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應 對未來的工藝擴展。

技術(shù)發(fā)展趨勢

隨著工業(yè)技術(shù)的進步，干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如，采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗，通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)遠程控制和故障診斷。此外，新材料的應用也進一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域，產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務與技術(shù)優(yōu)勢
荏原的核心產(chǎn)品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域，其高效節(jié)能設(shè)計顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù)，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產(chǎn)品服務于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導體制造設(shè)備：高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造