LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3102L

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3102L

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。

型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

離子注入（BF?/PH?配氣）

2. 新能源領(lǐng)域：

燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）

鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）

光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）

3. 制藥行業(yè)：

生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）

凍干機惰性氣體保護(hù)（露點控制<-70℃）

無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級潔凈度）

4. 科研實驗：

催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）

質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）

環(huán)境模擬實驗（溫濕度聯(lián)動控制）

關(guān)鍵性能指標(biāo)

參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號高性能型號

量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS

響應(yīng)時間<1s<300ms

工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa

溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃

LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。憑借過半個世紀(jì)的技術(shù)積累與創(chuàng)新，LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應(yīng)商，以*的產(chǎn)品質(zhì)量和*的解決方案聞名。
核心技術(shù)領(lǐng)域
LINTEC的核心業(yè)務(wù)涵蓋三大方向：
電子材料：生產(chǎn)半導(dǎo)體封裝膠帶、光學(xué)薄膜、導(dǎo)電膠帶等，廣泛應(yīng)用于智能手機、平板電腦及半導(dǎo)體制造，助力高精度電子元件加工。
工業(yè)膠帶：提供汽車粘接、建筑密封等高性能膠帶，以耐候性、強粘著力著稱，服務(wù)于豐田、本田等企業(yè)。
印刷與包裝材料：開發(fā)環(huán)保型標(biāo)簽、裝飾膜等，兼顧美觀與功能性，適用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)。