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SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KRW04360MS-RG
SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KRW04360MS-RG
SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KRW04360MS-RG
自動(dòng)載物臺(tái)(Automated Stage)是一種精密的機(jī)電一體化設(shè)備,主要用于顯微鏡系統(tǒng)或其他光學(xué)檢測系統(tǒng)中,能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的高精度、自動(dòng)化移動(dòng)定位。作為現(xiàn)代顯微技術(shù)和自動(dòng)化檢測系統(tǒng)的核心組件,自動(dòng)載物臺(tái)通過計(jì)算機(jī)控制,可以按照預(yù)設(shè)程序移動(dòng)樣品,大大提高了觀察效率和測量精度。
自動(dòng)載物臺(tái)通常由機(jī)械平臺(tái)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī))、位置傳感器、控制器和軟件接口等部分組成。根據(jù)不同的應(yīng)用需求,自動(dòng)載物臺(tái)可分為二維(X-Y軸)和三維(X-Y-Z軸)兩種基本類型,有些高端型號(hào)還配備了旋轉(zhuǎn)軸(θ軸)或傾斜功能。其行程范圍從幾毫米到數(shù)百毫米不等,定位精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至納米級(jí)。

發(fā)展趨勢
技術(shù)創(chuàng)新方向
亞納米級(jí)定位技術(shù)
AI智能路徑規(guī)劃
力反饋防碰撞系統(tǒng)
5G遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)控制
行業(yè)應(yīng)用深化
單細(xì)胞操作自動(dòng)化
晶圓級(jí)檢測系統(tǒng)
智能顯微鏡集成
微納制造領(lǐng)域拓展
性能突破重點(diǎn)
大行程高精度矛盾解決
多物理場耦合控制
高速穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)
極端環(huán)境適應(yīng)性
核心優(yōu)勢與技術(shù)專長
納米級(jí)定位技術(shù): 核心拳頭產(chǎn)品是精密線性平臺(tái)和旋轉(zhuǎn)平臺(tái),定位精度可達(dá)納米級(jí)(0.1微米以下)甚至亞納米級(jí)。這得益于其在摩擦控制(如靜壓空氣軸承、精密導(dǎo)軌)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)(直線電機(jī)、壓電電機(jī))和閉環(huán)反饋系統(tǒng)(高分辨率編碼器)上的深厚積累。
核心精密組件: 生產(chǎn)制造定位系統(tǒng)所需的關(guān)鍵高性能部件,如:
氣浮主軸/軸承: 提供無摩擦、無磨損、極高精度的旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)支撐。
高剛性導(dǎo)軌: 確保運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性和承載能力。
高分辨率光學(xué)/磁編碼器: 實(shí)現(xiàn)*的位置反饋。
定制化解決方案: 憑借強(qiáng)大的設(shè)計(jì)開發(fā)與精密加工能力,SURUGA 擅長為客戶量身定制復(fù)雜的機(jī)電一體化系統(tǒng),解決的精密運(yùn)動(dòng)控制挑戰(zhàn)。