ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS600A

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS600A

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS600A

螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉子將流體引導到網(wǎng)狀間隙中并旋轉它以沿軸向連續(xù)移動流體。

“Model：MS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 這是一種基于傳統(tǒng)“Model：LS”的耐過程性干式真空泵，具有更高的耐腐蝕性和粉末排出性。 它設計用于具有腐蝕性氣體和粉末排放的真空過程。

長處

通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊表面處理，實現(xiàn)了高耐腐蝕性。

螺旋式轉子軸具有 ULVAC 獨有的設計，可實現(xiàn)高粉末排放。

可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內連續(xù)運行。

用

電子元件和半導體制造設備、

蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等的真空排氣系統(tǒng)

真空熱處理爐、

燒結爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)

鋰電池制造設備、

電極干燥設備、消泡設備、注液設備等的真空排氣系統(tǒng)。

醫(yī)療和食品相關設備的真空排氣系統(tǒng)、

冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。