正規(guī)電子廠房潔凈等級檢測項(xiàng)目 第三方檢測--安衡檢測

在對車間進(jìn)行潔凈度檢測時，檢測電子廠凈化工程潔凈度方法，趕緊來閱讀！一、檢測儀器的選擇:對于無塵凈化車間潔凈度的測量，可以使用凈化工程光散射粒子計數(shù)器、凝聚核粒子計數(shù)器、電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡。由于這種粒子計數(shù)器可以自動、連續(xù)、及時地測量使用中室內(nèi)空氣的含塵量，并能直接顯示瞬時含塵濃度，因此還可以測量不同粒徑的含塵濃度。簡單、方便、及時、靈活。

電子廠房潔凈等級檢測項(xiàng)目 

目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。

應(yīng)當(dāng)按以下要求對潔凈區(qū)的懸浮粒子進(jìn)行動態(tài)監(jiān)測：（一）根據(jù)潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認(rèn)的結(jié)果及風(fēng)險評估，確定取樣點(diǎn)的位置并進(jìn)行日常動態(tài)監(jiān)控。（二）在關(guān)鍵操作的全過程中，包括設(shè)備組裝操作，應(yīng)當(dāng)對A級潔凈區(qū)進(jìn)行懸浮粒子監(jiān)測。生產(chǎn)過程中的污染（如活生物、放射危害）可能損壞塵埃粒子計數(shù)器時，當(dāng)在設(shè)備調(diào)試操作和模擬操作期間進(jìn)行測試。A級潔凈區(qū)監(jiān)測的頻率及取樣量，應(yīng)能及時發(fā)現(xiàn)所有人為干預(yù)、偶發(fā)事件及任何系統(tǒng)的損壞。灌裝或分裝時，由于產(chǎn)品本身產(chǎn)生粒子或液滴，允許灌裝點(diǎn)≥5.0μm的懸浮粒子出現(xiàn)不符合標(biāo)準(zhǔn)的情況。（三）在B級潔凈區(qū)可采用與A級潔凈區(qū)相似的監(jiān)測系統(tǒng)?？筛鶕?jù)B級潔凈區(qū)對相鄰A級潔凈區(qū)的影響程度，調(diào)整采樣頻率和采樣量。（四）懸浮粒子的監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)考慮采樣管的長度和彎管的半徑對測試結(jié)果的影響。

電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分，潔凈廠房凈化無塵車間建設(shè)完成后，能否達(dá)到設(shè)計目的(滿足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求，符合GMP的要求),需要通過實(shí)踐檢則來確認(rèn)故數(shù)據(jù)。

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